“这么说的话，瑞星科技公司在十二寸晶圆厂应用的光刻机跟刻蚀机上面已经取得了非常大的突破？”马秋林惊喜地问道。
“嗯，我们采用的第三代光源的双工件台光刻机已经试制出来了，现在正在一条实验生产线上测试应用了一年了，目前来说设备运转不错。”
往年年初的时候，瑞星科技公司试制出了八英寸和十二英寸的两款光刻机，同时也采用了沉浸式光刻技巧，测试过程中也是不停地进行了改良，现在性能也是稳固下来。
不过之前瑞星科技公司从德国蔡司得到的镜组数目非常少，不到十套而已，这也是由于瑞星科技公司设计的曝光头要注进注进高纯度水，镜组必须重新设计。
德国蔡司方面看在中晶微每套报价差未几两千万的重金下才赞助生产了十套，不得不说，德国人在高精密机械制作技巧上还是极为厉害的，最后还是生产出了这么十套镜组。
另外瑞星科技公司跟燕京市的物化所在氟化氪准分子激光光源上合作研发上已经成熟了，这才有了量产第三代光源光刻机的技巧基础。
现在瑞星科技公司试制的光刻机由于采用了沉浸式光刻技巧，大大地缩短了光源的波长，光刻机支撑的极限制程工艺可以达到65纳米。
也就是假如瑞星科技公司在控制氟化氩光源后，极限制程工艺可以达到22纳米！
重生之大学霸最新章节486章温柔乡！网址：
